(19)
(11) EP 1 779 200 A1

(12)

(43) Date de publication:
02.05.2007  Bulletin  2007/18

(21) Numéro de dépôt: 05783993.8

(22) Date de dépôt:  01.07.2005
(51) Int. Cl.: 
G03F 7/20(2006.01)
H01L 21/00(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2005/001680
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2006/013257 (09.02.2006 Gazette  2006/06)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorité: 05.07.2004 FR 0407426

(71) Demandeurs:
  • Ecole Normale Superieure Sciences De Lyon
    69364 Lyon Cedex 07 (FR)
  • CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)
    75794 Paris Cedex 16 (FR)

(72) Inventeurs:
  • BOURAYA, Djamel
    F-69004 Lyon (FR)
  • PLACE, Christophe
    F-69004 Lyon (FR)

(74) Mandataire: Le Cacheux, Samuel L.R. 
Cabinet Beau de Loménie 51, Avenue Jean-Jaurès B.P. 7073
69301 Lyon Cedex 07
69301 Lyon Cedex 07 (FR)

   


(54) DISPOSITIF DE MICROSTRUCTURATION DE SURFACE