(19)
(11) EP 1 779 420 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
02.05.2007  Patentblatt  2007/18

(21) Anmeldenummer: 05857310.6

(22) Anmeldetag:  21.07.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/48(2006.01)
H01L 21/56(2006.01)
 H01L 23/31(2006.01)
H01L 23/485(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/053551
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/084509 (17.08.2006 Gazette  2006/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 17.08.2004 DE 102004039834

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft, A German Corporation
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • KASPAR, Michael
    85640 Putzbrunn (DE)
  • WEIDNER, Karl
    81245 München (DE)

   


(54) KOSTENGÜNSTIGE AUFBAU- UND VERBINDUNGSTECHNIK MITTELS DRUCKVERFAHREN