(19)
(11) EP 1 783 809 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
18.06.2008  Patentblatt  2008/25

(43) Veröffentlichungstag A2:
09.05.2007  Patentblatt  2007/19

(21) Anmeldenummer: 06022475.5

(22) Anmeldetag:  27.10.2006
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 35/08(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA HR MK RS

(30) Priorität: 07.11.2005 DE 102005053386

(71) Anmelder: COMET GmbH
30827 Garbsen (DE)

(72) Erfinder:
  • Reinhold, Alfred
    31515 Wunstorf (DE)

(74) Vertreter: Braitmayer, Sven-Erik 
DTS Patentanwälte Rechtsanwälte Sankt-Anna-Strasse 15
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) Nanofocus-Röntgenröhre


(57) Eine erfindungsgemäße Nanofocus-Röntgenröhre (20) weist ein Target (4) und Mittel zum Richten eines Elektronenstrahles (28) auf das Target (4) auf. Erfindungsgemäß weist das Target (4) wenigstens ein aus einem Targetmaterial bestehendes Targetelement (22,24,26) zur Emission von Röntgenstrahlung auf, das durch eine mittels eines Mikrostrukturierungsverfahrens auf einem aus einem Trägermaterial bestehenden Trägerelement (4) gebildete Nanostruktur mit einem Durchmesser ≤ etwa 1.000 nm gebildet ist, wobei das Targetelement (6,22,24,26) das Trägerelement (4) nur teilweise bedeckt und wobei bei Betrieb der Röntgenröhre (20) der Querschnitt des Elektronenstrahles derart größer als der Querschnitt des Targetelementes (6 bzw. 22 bzw. 24 bzw. 26) gewählt ist, daß der Elektronenstrahl (28) das Targetelement (6 bzw. 22 bzw. 24 bzw. 26) stets vollflächig bestrahlt. Erfindungsgemäß ist oder enthält das Trägermaterial Diamant, der zur Erhöhung der elektrischen Leitfähigkeit dotiert ist.







Recherchenbericht