(19)
(11) EP 1 784 627 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
16.05.2007  Patentblatt  2007/20

(21) Anmeldenummer: 05771850.4

(22) Anmeldetag:  12.08.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01L 1/16(2006.01)
G01P 15/09(2006.01)
 G01L 9/08(2006.01)
H01L 41/113(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/008816
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/024384 (09.03.2006 Gazette  2006/10)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 01.09.2004 DE 102004042668
14.02.2005 DE 102005006806

(71) Anmelder: Priamus System Technologies AG
8200 Schaffhausen (CH)

(72) Erfinder:
  • BADER, Christopherus
    CH-8413 Neftenbach (CH)
  • HOFFMANN, Robert
    CH-5033 Buchs/AG (CH)

(74) Vertreter: Weiss, Peter 
Zeppelinstrasse 4
78234 Engen
78234 Engen (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM MESSEN VON PHYSIKALISCHEN GRÖSSEN MIT PIEZOELEKTRISCHEN SENSOREN UND DIGITALEM INTEGRATOR