(19)

(11)

EP 1 789 994 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 30.05.2007  Patentblatt  2007/22 (21) Anmeldenummer: 05766723.0 (22) Anmeldetag:  16.06.2005

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2005/001076 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2006/015567 (16.02.2006 Gazette  2006/07)

(84) Benannte Vertragsstaaten: GB NL (30) Priorität: 13.08.2004 DE 102004039594 13.08.2004 EP 04019276 (71) Anmelder: Novaled AG 01307 Dresden (DE) Technische Universität Dresden 01062 Dresden (DE)	(72) Erfinder: HE, Gufeng 01069 Dresden (DE) PFEIFFER, Martin 01139 Dresden (DE) BLOCHWITZ-NIMOTH, Jan 01097 Dresden (DE) (74) Vertreter: Bittner, Thomas L.  Forrester & Boehmert Pettenkoferstrasse 20-22 80336 München 80336 München (DE)