(19)

(11)

EP 1 790 010 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 13.07.2006 (43) Veröffentlichungstag: 30.05.2007  Patentblatt  2007/22 (21) Anmeldenummer: 05784791.5 (22) Anmeldetag:  13.09.2005

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 27/082(2006.01) H01L 27/06(2006.01) H01L 21/8222(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2005/009810 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2006/029802 (23.03.2006 Gazette  2006/12)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR (30) Priorität: 14.09.2004 DE 102004044835 (71) Anmelder: ATMEL Germany GmbH 74072 Heilbronn (DE)	(72) Erfinder: BRANDL, Peter A-9500 Villach (AT) (74) Vertreter: Müller, Wolf-Christian  Patentanwalt Pilgramsroth 21E 96450 Coburg 96450 Coburg (DE)