(19)
(11) EP 1 791 987 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
08.06.2006

(43) Veröffentlichungstag:
06.06.2007  Patentblatt  2007/23

(21) Anmeldenummer: 05761661.7

(22) Anmeldetag:  10.06.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/35(2006.01)
 C23C 14/54(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/006238
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/034739 (06.04.2006 Gazette  2006/14)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 24.09.2004 DE 102004046390

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • FRACH, Peter
    01454 Radeberg (DE)
  • GLOESS, Daniel
    01279 Dresden (DE)
  • GOEDICKE, Klaus
    01307 Dresden (DE)
  • KLINKENBERG, Sigrun
    01099 Dresden (DE)
  • GOTTFRIED, Christian
    01219 Dresden (DE)
  • KIRCHHOFF, Volker
    01324 Dresden (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM VAKUUMBESCHICHTEN MIT EINER PHOTOHALBLEITENDEN SCHICHT UND ANWENDUNG DES VERFAHRENS