(19)
(11) EP 1 794 340 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
13.06.2007  Patentblatt  2007/24

(21) Anmeldenummer: 05787323.4

(22) Anmeldetag:  01.09.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 4/02(2006.01)
C23C 28/00(2006.01)
B23K 26/34(2006.01)
B23K 15/00(2006.01)
C23C 4/08(2006.01)
B23K 26/22(2006.01)
B23K 10/02(2006.01)
F01D 5/28(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/054302
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/040220 (20.04.2006 Gazette  2006/16)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 07.10.2004 EP 04023972

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • BOSTANJOGLO, Georg
    12161 Berlin (DE)
  • COX, Nigel-Philip
    45468 Mülheim an der Ruhr (DE)
  • WILKENHÖNER, Rolf
    14532 Kleinmachnow (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SCHICHTSYSTEMS