(19)
(11)
EP 1 794 340 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
13.06.2007
Patentblatt 2007/24
(21)
Anmeldenummer:
05787323.4
(22)
Anmeldetag:
01.09.2005
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
C23C
4/02
(2006.01)
C23C
28/00
(2006.01)
B23K
26/34
(2006.01)
B23K
15/00
(2006.01)
C23C
4/08
(2006.01)
B23K
26/22
(2006.01)
B23K
10/02
(2006.01)
F01D
5/28
(2006.01)
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/054302
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/040220
(
20.04.2006
Gazette 2006/16)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR
(30)
Priorität:
07.10.2004
EP 04023972
(71)
Anmelder:
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)
(72)
Erfinder:
BOSTANJOGLO, Georg
12161 Berlin (DE)
COX, Nigel-Philip
45468 Mülheim an der Ruhr (DE)
WILKENHÖNER, Rolf
14532 Kleinmachnow (DE)
(54)
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SCHICHTSYSTEMS