(19)
(11) EP 1 794 600 A1

(12)

(43) Date de publication:
13.06.2007  Bulletin  2007/24

(21) Numéro de dépôt: 05789496.6

(22) Date de dépôt:  15.09.2005
(51) Int. Cl.: 
G01R 19/00(2006.01)
H05H 1/00(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2005/054599
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2006/030024 (23.03.2006 Gazette  2006/12)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorité: 16.09.2004 FR 0409811

(71) Demandeurs:
  • ECOLE POLYTECHNIQUE
    91120 Palaiseau (FR)
  • CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE C.N.R.S)
    75016 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • DINE, Sébastien
    F-75019 Paris (FR)
  • JOLLY, Jacques
    F-91370 Verrieres Le Buisson (FR)
  • LAROUR, Jean, Bernard, Pierre
    F-78220 Viroflay (FR)

(74) Mandataire: Collin, Jérôme 
Cabinet Régimbeau 20, rue de Chazelles
75847 Paris Cedex 17
75847 Paris Cedex 17 (FR)

   


(54) SONDE DE MESURE DE CARACTERISTIQUES D'UN COURANT D'EXCITATION D'UN PLASMA, ET REACTEUR A PLASMA ASSOCIE.