(19)

(11)

EP 1 794 654 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 13.06.2007  Patentblatt  2007/24 (21) Anmeldenummer: 05784448.2 (22) Anmeldetag:  27.09.2005

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 7/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/CH2005/000557 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2006/034600 (06.04.2006 Gazette  2006/14)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 29.09.2004 CH 158704 (71) Anmelder: 3D AG 6340 Baar (CH)	(72) Erfinder: HAUSER, René 8002 Zürich (CH) (74) Vertreter: Klein, Friedrich Jürgen et al Patentanwälte Klein & Klein Grienbachstrasse 17 6300 Zug 6300 Zug (CH)