(19)
(11) EP 1 794 779 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
21.09.2006

(43) Veröffentlichungstag:
13.06.2007  Patentblatt  2007/24

(21) Anmeldenummer: 05798784.4

(22) Anmeldetag:  22.09.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/20(2006.01)
 H01L 29/04(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2005/001669
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/034679 (06.04.2006 Gazette  2006/14)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 30.09.2004 DE 102004048096

(71) Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH
52425 Jülich (DE)

(72) Erfinder:
  • MANTL, Siegfried
    52428 Jülich (DE)
  • HOLLÄNDER, Bernhard
    51467 Bergisch Gladbach (DE)
  • BUCA, Dan, Mihai
    52428 Jülich (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER VERSPANNTEN SCHICHT AUF EINEM SUBSTRAT UND SCHICHTSTRUKTUR