(19)
(11) EP 1 794 803 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
28.09.2006

(43) Veröffentlichungstag:
13.06.2007  Patentblatt  2007/24

(21) Anmeldenummer: 05796900.8

(22) Anmeldetag:  28.09.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 29/78(2006.01)
H01L 21/336(2006.01)
 H01L 29/423(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/010455
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/037526 (13.04.2006 Gazette  2006/15)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR

(30) Priorität: 01.10.2004 DE 102004049246

(71) Anmelder: ATMEL Germany GmbH
74072 Heilbronn (DE)

(72) Erfinder:
  • DIETZ, Franz
    74257 Untereisesheim (DE)
  • DUDEK, Volker
    74336 Brackenheim (DE)
  • HOFFMANN, Thomas
    70794 Filderstadt (DE)
  • GRAF, Michael
    71397 Leutenbach (DE)
  • SCHWANTES, Stefan
    74080 Heilbronn (DE)

(74) Vertreter: Müller, Wolf-Christian 
Patentanwalt Pilgramsroth 21E
96450 Coburg
96450 Coburg (DE)

   


(54) LATERALER DMOS-TRANSISTOR UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG