(19)
(11) EP 1 797 217 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
20.06.2007  Patentblatt  2007/25

(21) Anmeldenummer: 05784706.3

(22) Anmeldetag:  07.09.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 16/511(2006.01)
C23C 16/40(2006.01)
C23C 16/08(2006.01)
 C23C 16/455(2006.01)
C23C 16/52(2006.01)
C23C 16/18(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/009575
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/029743 (23.03.2006 Gazette  2006/12)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 15.09.2004 DE 102004045046

(71) Anmelder: Schott AG
55122 Mainz (DE)

(72) Erfinder:
  • BAUER, Stefan
    55232 Alzey (DE)
  • SCHULTZ, Nico
    55124 Mainz (DE)
  • HENN, Christian
    55545 Bad Kreuznach (DE)
  • ANTON, Andrea
    55543 Bad Kreuznach (DE)

(74) Vertreter: Herden, Andreas F. 
Blumbach - Zinngrebe Patentanwälte Alexandrastrasse 5
65187 Wiesbaden
65187 Wiesbaden (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM AUFBRINGEN EINER ELEKTRISCHEN LEITFÄHIGEN TRANSPARENTEN BESCHICHTUNG AUF EIN SUBSTRAT