(19)
(11) EP 1 797 218 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
20.06.2007  Patentblatt  2007/25

(21) Anmeldenummer: 05786847.3

(22) Anmeldetag:  05.09.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 28/00(2006.01)
 C23C 4/02(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/054353
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/040223 (20.04.2006 Gazette  2006/16)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE GB IT LI

(30) Priorität: 07.10.2004 EP 04023973

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • BOSTANJOGLO, Georg
    12161 Berlin (DE)
  • COX, Nigel-Philip
    45468 Mülheim an der Ruhr (DE)
  • WILKENHÖNER, Rolf
    14532 Kleinmachnow (DE)

   


(54) SCHICHTSYSTEM