(19)
(11) EP 1 797 514 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
26.10.2006

(43) Veröffentlichungstag:
20.06.2007  Patentblatt  2007/25

(21) Anmeldenummer: 05795964.5

(22) Anmeldetag:  05.10.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G06F 17/50(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2005/001780
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/037313 (13.04.2006 Gazette  2006/15)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 05.10.2004 DE 102004048278

(71) Anmelder:
  • X-FAB Semiconductor Foundries AG
    99097 Erfurt (DE)
  • Alpha Microelectronics GmbH
    15236 Frankfurt (Oder) (DE)

(72) Erfinder:
  • LERNER, Ralf
    99085 Erfurt (DE)
  • MIESCH, Wolfgang
    15235 Frankfurt (Oder) (DE)

(74) Vertreter: Leonhard, Frank Reimund 
Leonhard - Olgemöller - Fricke, Postfach 10 09 62
80083 München
80083 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM AUFBAU VON VERTIKALEN LEISTUNGSTRANSISTOREN MIT UNTERSCHIEDLICHEN LEISTUNGEN DURCH KOMBINATION VON VORDEFINIERTEN TEILSTÜCKEN