(19)
(11)
EP 1 797 586 A2
(12)
(88)
Veröffentlichungstag A3:
27.07.2006
(43)
Veröffentlichungstag:
20.06.2007
Patentblatt 2007/25
(21)
Anmeldenummer:
05800582.8
(22)
Anmeldetag:
06.10.2005
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
H01L
21/762
(2006.01)
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2005/001790
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/037317
(
13.04.2006
Gazette 2006/15)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR
(30)
Priorität:
06.10.2004
DE 102004048626
(71)
Anmelder:
X-FAB Semiconductor Foundries AG
99097 Erfurt (DE)
(72)
Erfinder:
LERNER, Ralf
99085 Erfurt (DE)
ECKOLDT, Uwe
99448 Hohenfelden (DE)
(74)
Vertreter:
Leonhard, Frank Reimund et al
Leonhard - Olgemöller - Fricke Patentanwälte Postfach 10 09 62
80083 München
80083 München (DE)
(54)
ZWEISTUFIGER OXIDATIONSPROZESS F]R HALBLEITERSCHEIBEN