(19)
(11) EP 1 799 886 A1

(12)

(43) Date de publication:
27.06.2007  Bulletin  2007/26

(21) Numéro de dépôt: 05802711.1

(22) Date de dépôt:  14.09.2005
(51) Int. Cl.: 
C30B 29/38(2006.01)
H01L 21/20(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2005/002275
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2006/032756 (30.03.2006 Gazette  2006/13)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorité: 16.09.2004 FR 0409813

(71) Demandeurs:
  • CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) Etablissement Public
    75016 Paris (FR)
  • Université Montpellier II
    34095 Montpellier Cedex 05 (FR)

(72) Inventeurs:
  • GIL, Bernard
    F-34090 MONTPELLIER (FR)
  • BRIOT, Olivier, Gérard, Serge
    F-34830 JACOU (FR)
  • RUFFENACH, Sandra
    F-34570 MONTARNAUD (FR)
  • MALEYRE, Bénédicte, 81, rue Marius Carrieu
    F-34000 MONTPELLIER (FR)
  • CLOITRE, Thierry, Joseph, Roland
    F-34090 MONTPELLIER (FR)
  • AULOMBARD, Roger-Louis
    F-34990 Juvignac (FR)

(74) Mandataire: Texier, Christian et al
Cabinet Régimbeau 20, rue de Chazelles
75847 Paris cedex 17
75847 Paris cedex 17 (FR)

   


(54) REALISATION D'UNE COUCHE DE NITRURE D'INDIUM