(19)

(11)

EP 1 800 338 A1

(12)

(43) Date de publication: 27.06.2007  Bulletin  2007/26 (21) Numéro de dépôt: 04791517.8 (22) Date de dépôt:  13.10.2004

(51) Int. Cl.:  H01L 21/56(2006.01) H01L 23/31(2006.01) H01L 25/16(2006.01) H01L 31/0216(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2004/002603 (87) Numéro de publication internationale: WO 2006/040419 (20.04.2006 Gazette  2006/16)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR (71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: MARION, François F-38950 St Martin le Vinoux (FR) RAMBAUD, Philippe F-38640 Claix (FR) MATHIEU, Lydie F-38340 POMMIERS-LA-PLACETTE (FR) (74) Mandataire: Poulin, Gérard  Société BREVATOME 3, rue du Docteur Lancereaux 75008 Paris 75008 Paris (FR)