(19)

(11)

EP 1 800 347 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 09.11.2006 (43) Veröffentlichungstag: 27.06.2007  Patentblatt  2007/26 (21) Anmeldenummer: 05791393.1 (22) Anmeldetag:  07.09.2005

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 29/78(2006.01) H01L 29/10(2006.01) H01L 29/08(2006.01) H01L 21/336(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2005/001567 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2006/026974 (16.03.2006 Gazette  2006/11)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 08.09.2004 DE 102004043284 (71) Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries AG 99097 Erfurt (DE)	(72) Erfinder: ROTH, Andreas 99198 Erfurt-Urbrich (DE) (74) Vertreter: Leonhard, Frank Reimund et al Leonhard - Olgemöller - Fricke Patentanwälte Postfach 10 09 62 80083 München 80083 München (DE)