(19)

(11)

EP 1 800 350 A2

(12)

(88) Date de publication A3: 07.12.2006 (43) Date de publication: 27.06.2007  Bulletin  2007/26 (21) Numéro de dépôt: 05810775.6 (22) Date de dépôt:  12.10.2005

(51) Int. Cl.:  H01L 29/88(2006.01) H01L 29/15(2006.01) H01L 21/329(2006.01) H01L 29/32(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2005/050845 (87) Numéro de publication internationale: WO 2006/040500 (20.04.2006 Gazette  2006/16)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR Etats d'extension désignés: AL BA HR MK YU (30) Priorité: 12.10.2004 FR 0410761 (71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: EYMERY, Joël F-38360 SASSENAGE (FR) GENTILE, Pascal F-38500 VOIRON (FR) (74) Mandataire: Poulin, Gérard et al Brevatome 3, rue du Docteur Lancereaux 75008 Paris 75008 Paris (FR)