(19)

(11)

EP 1 802 939 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 04.07.2007  Patentblatt  2007/27 (21) Anmeldenummer: 05810074.4 (22) Anmeldetag:  20.10.2005

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01B 21/08(2006.01) G01N 25/18(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2005/001873 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2006/042528 (27.04.2006 Gazette  2006/17)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 21.10.2004 DE 102004051113 (71) Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries AG 99097 Erfurt (DE)	(72) Erfinder: HERING, Siegfried 99198 Kerspleben (DE) HOELZER, Gisbert 99089 Erfurt (DE) (74) Vertreter: Leonhard, Frank Reimund et al Leonhard - Olgemöller - Fricke, Postfach 10 09 62 80083 München 80083 München (DE)