(19)
(11) EP 1 803 152 A2

(12)

(88) Date de publication A3:
21.12.2006

(43) Date de publication:
04.07.2007  Bulletin  2007/27

(21) Numéro de dépôt: 05815527.6

(22) Date de dépôt:  18.10.2005
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/68(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2005/050863
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2006/043000 (27.04.2006 Gazette  2006/17)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR
Etats d'extension désignés:
AL BA HR MK YU

(30) Priorité: 21.10.2004 FR 0452393

(71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
75015 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • KOSTRZEWA, Marek
    F-38100 GRENOBLE (FR)
  • DI CIOCCIO, Léa
    F-38330 SAINT ISMIER (FR)
  • ZUSSY, Marc
    F-38120 SAINT EGREVE (FR)

(74) Mandataire: Poulin, Gérard et al
Société BREVATOME 3, rue du Docteur Lancereaux
75008 Paris
75008 Paris (FR)

   


(54) PROCEDE DE TRANSFERT D'AU MOINS UN OBJET DE TAILLE MICROMETRIQUE OU MILLIMETRIQUE AU MOYEN D'UNE POIGNEE EN POLYMERE