(19)
(11)
EP 1 812 205 A1
(12)
(43)
Date de publication:
01.08.2007
Bulletin 2007/31
(21)
Numéro de dépôt:
05819322.8
(22)
Date de dépôt:
15.11.2005
(51)
Int. Cl.:
B24B
37/04
(2006.01)
B24B
49/02
(2006.01)
(86)
Numéro de dépôt:
PCT/FR2005/050948
(87)
Numéro de publication internationale:
WO 2006/051243
(
18.05.2006
Gazette 2006/20)
(84)
Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR
(30)
Priorité:
15.11.2004
FR 0412064
(71)
Demandeur:
S.O.I.TEC. Silicon on Insulator Technologies S.A.
38190 Bernin (FR)
(72)
Inventeur:
ANGELLIER, Cédric
38240 Meylan (FR)
(74)
Mandataire:
Desormiere, Pierre-Louis et al
Cabinet Beau de Loménie, 158, rue de l'Université
75340 Paris Cedex 07
75340 Paris Cedex 07 (FR)
(54)
PROCEDE ET APPAREIL DE MESURE DE PLAQUES DE SEMI-CONDUCTEUR