(19)
(11) EP 1 812 205 A1

(12)

(43) Date de publication:
01.08.2007  Bulletin  2007/31

(21) Numéro de dépôt: 05819322.8

(22) Date de dépôt:  15.11.2005
(51) Int. Cl.: 
B24B 37/04(2006.01)
B24B 49/02(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2005/050948
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2006/051243 (18.05.2006 Gazette  2006/20)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorité: 15.11.2004 FR 0412064

(71) Demandeur: S.O.I.TEC. Silicon on Insulator Technologies S.A.
38190 Bernin (FR)

(72) Inventeur:
  • ANGELLIER, Cédric
    38240 Meylan (FR)

(74) Mandataire: Desormiere, Pierre-Louis et al
Cabinet Beau de Loménie, 158, rue de l'Université
75340 Paris Cedex 07
75340 Paris Cedex 07 (FR)

   


(54) PROCEDE ET APPAREIL DE MESURE DE PLAQUES DE SEMI-CONDUCTEUR