(19)

(11)

EP 1 815 509 A2

(12)

(88) Date de publication A3: 01.02.2007 (43) Date de publication: 08.08.2007  Bulletin  2007/32 (21) Numéro de dépôt: 05819228.7 (22) Date de dépôt:  17.11.2005

(51) Int. Cl.:  H01L 21/68(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2005/050959 (87) Numéro de publication internationale: WO 2006/054024 (26.05.2006 Gazette  2006/21)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR Etats d'extension désignés: AL BA HR MK YU (30) Priorité: 17.11.2004 FR 0452661 (71) Demandeur: STMICROELECTRONICS SA 92120 Montrouge (FR)	(72) Inventeur: HERNANDEZ, Caroline F-13860 PEYROLLES (FR) (74) Mandataire: de Beaumont, Michel  Cabinet Beaumont 1, rue Champollion 38000 Grenoble 38000 Grenoble (FR)