(19)
(11) EP 1 817 792 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
21.09.2006

(43) Veröffentlichungstag:
15.08.2007  Patentblatt  2007/33

(21) Anmeldenummer: 05802410.0

(22) Anmeldetag:  03.11.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/266(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/011774
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/058594 (08.06.2006 Gazette  2006/23)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
FR GB

(30) Priorität: 03.12.2004 DE 102004058412

(71) Anmelder: austriamicrosystems AG
8141 Unterpremstätten (AT)

(72) Erfinder:
  • KNAIPP, Martin
    A-8141 Unterpremstätten (AT)
  • MINIXHOFER, Rainer
    A-8141 Unterpremstätten (AT)
  • SCHREMS, Martin
    A-8063 Eggersdorf (AT)

(74) Vertreter: Epping - Hermann - Fischer 
Patentanwaltsgesellschaft mbH Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) MEHRFACHMASKE UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG UNTERSCHIEDLICH DOTIERTER GEBIETE