(19)

(11)

EP 1 817 795 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 15.08.2007  Patentblatt  2007/33 (21) Anmeldenummer: 05815728.0 (22) Anmeldetag:  21.11.2005

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 25/07(2006.01) H01L 21/60(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2005/056094 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2006/058850 (08.06.2006 Gazette  2006/23)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 29.11.2004 DE 102004057494 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: WEIDNER, Karl 81245 München (DE)