(19)
(11) EP 1 819 837 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
12.10.2006

(43) Veröffentlichungstag:
22.08.2007  Patentblatt  2007/34

(21) Anmeldenummer: 05825893.0

(22) Anmeldetag:  07.12.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C22C 5/06(2006.01)
C23C 14/18(2006.01)
 C23C 14/34(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/013083
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/061195 (15.06.2006 Gazette  2006/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
BE CZ DE LU NL

(30) Priorität: 10.12.2004 DE 102004059876

(71) Anmelder: W.C. Heraeus GmbH
63450 Hanau (DE)

(72) Erfinder:
  • SIMONS, Christoph
    63599 Biebergemünd (DE)
  • WEIGERT, Martin
    63457 Hanau (DE)

(74) Vertreter: Kühn, Hans-Christian 
Heraeus Holding GmbH, Stabsstelle Schutzrechte, Heraeusstrasse 12-14
63450 Hanau
63450 Hanau (DE)

   


(54) SPUTTERTARGET AUS EINER SILBERLEGIERUNG, DESSEN VERWENDUNG SOWIE GLASSUBSTRAT MIT W[RMED[MMSCHICHT