(19)
(11) EP 1 819 905 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
22.08.2007  Patentblatt  2007/34

(21) Anmeldenummer: 05786976.0

(22) Anmeldetag:  27.09.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F01D 5/18(2006.01)
C23C 4/00(2006.01)
C23C 28/00(2006.01)
 F23R 3/00(2006.01)
F01D 5/28(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/054842
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/061267 (15.06.2006 Gazette  2006/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 08.12.2004 EP 04029079

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • KLEIN, Karsten
    14089 Berlin (DE)

   


(54) SCHICHTSYSTEM, VERWENDUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SCHICHTSYSTEMS