(19)

(11)

EP 1 819 982 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 22.08.2007  Patentblatt  2007/34 (21) Anmeldenummer: 05814654.9 (22) Anmeldetag:  16.11.2005

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01B 7/06(2006.01) G01R 27/14(2006.01) H01L 21/66(2006.01) G01N 27/04(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2005/002063 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2006/053543 (26.05.2006 Gazette  2006/21)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 16.11.2004 DE 102004055181 (71) Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries AG 99097 Erfurt (DE)	(72) Erfinder: FREYWALD, Karlheinz 99086 Erfurt (DE) HOELZER, Giesbert 99089 Erfurt (DE) HERING, Siegfried 99198 Kerspleben (DE) KUNISS, Uta 99334 Elleben (DE) VAN DER WIEL, Appo B-3080 Tervuren (BE) (74) Vertreter: Leonhard, Frank Reimund et al Leonhard - Olgemöller - Fricke Patentanwälte Postfach 10 09 62 80083 München 80083 München (DE)