(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE
SI SK TR |
(30) |
Priorität: |
16.11.2004 DE 102004055181
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(71) |
Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries AG |
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99097 Erfurt (DE) |
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(72) |
Erfinder: |
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- FREYWALD, Karlheinz
99086 Erfurt (DE)
- HOELZER, Giesbert
99089 Erfurt (DE)
- HERING, Siegfried
99198 Kerspleben (DE)
- KUNISS, Uta
99334 Elleben (DE)
- VAN DER WIEL, Appo
B-3080 Tervuren (BE)
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(74) |
Vertreter: Leonhard, Frank Reimund et al |
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Leonhard - Olgemöller - Fricke
Patentanwälte
Postfach 10 09 62 80083 München 80083 München (DE) |
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