(19)
(11) EP 1 819 982 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
22.08.2007  Patentblatt  2007/34

(21) Anmeldenummer: 05814654.9

(22) Anmeldetag:  16.11.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01B 7/06(2006.01)
G01R 27/14(2006.01)
H01L 21/66(2006.01)
G01N 27/04(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2005/002063
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/053543 (26.05.2006 Gazette  2006/21)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 16.11.2004 DE 102004055181

(71) Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries AG
99097 Erfurt (DE)

(72) Erfinder:
  • FREYWALD, Karlheinz
    99086 Erfurt (DE)
  • HOELZER, Giesbert
    99089 Erfurt (DE)
  • HERING, Siegfried
    99198 Kerspleben (DE)
  • KUNISS, Uta
    99334 Elleben (DE)
  • VAN DER WIEL, Appo
    B-3080 Tervuren (BE)

(74) Vertreter: Leonhard, Frank Reimund et al
Leonhard - Olgemöller - Fricke Patentanwälte Postfach 10 09 62
80083 München
80083 München (DE)

   


(54) ELEKTRISCHE MESSUNG DER DICKE EINER HALBLEITERSCHICHT