(19)
(11) EP 1 820 038 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
22.08.2007  Patentblatt  2007/34

(21) Anmeldenummer: 05821836.3

(22) Anmeldetag:  09.12.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01R 31/3185(2006.01)
 G01R 31/317(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2005/002224
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/061011 (15.06.2006 Gazette  2006/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 10.12.2004 DE 102004059505

(71) Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries AG
99097 Erfurt (DE)

(72) Erfinder:
  • HABERLA, Holger
    99448 Kranichfeld (DE)
  • LOHBRANDT, Soeren
    99198 Buessleben (DE)

(74) Vertreter: Leonhard, Frank Reimund et al
Leonhard - Olgemöller - Fricke Patentanwälte Postfach 10 09 62
80083 München
80083 München (DE)

   


(54) TEST VON EINGEBETTETEN SCHALTUNGEN MIT HILFE VON TESTINSELN