(19)
(11) EP 1 820 207 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
13.07.2006

(43) Veröffentlichungstag:
22.08.2007  Patentblatt  2007/34

(21) Anmeldenummer: 05817850.0

(22) Anmeldetag:  07.12.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/013112
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/061205 (15.06.2006 Gazette  2006/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 08.12.2004 DE 102004059266
06.04.2005 DE 102005015758

(71) Anmelder: ASTEC Halbleitertechnologie GmbH
92348 Berg (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHWECKENDIEK, Jürgen
    90429 Nürnberg (DE)
  • FRANZKE, Jörg
    92318 Neumarkt (DE)
  • NIESE, Matthias
    92318 Neumarkt (DE)
  • OSTERKAMP, Jürgen
    90559 Burgthann (DE)

(74) Vertreter: Gassner, Wolfgang et al
Dr. Gassner & Partner Marie-Curie-Straße 1
D-91052 Erlangen
D-91052 Erlangen (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ÄTZEN VON IN EINER ÄTZLÖSUNG AUFGENOMMENEN SUBSTRATEN