(19)
(11) EP 1 820 208 A2

(12)

(88) Date de publication A3:
27.07.2006

(43) Date de publication:
22.08.2007  Bulletin  2007/34

(21) Numéro de dépôt: 05825202.4

(22) Date de dépôt:  21.11.2005
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/00(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2005/056095
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2006/056557 (01.06.2006 Gazette  2006/22)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorité: 25.11.2004 FR 0412519

(71) Demandeur: Semco Engineering S.A.
34196 Montpellier cedex 5 (FR)

(72) Inventeur:
  • PELLEGRIN, Yvon
    F-34000 Montpellier (FR)

(74) Mandataire: Ravina, Bernard 
Ravina SA 8, rue des Briquetiers BP 10077 ZA de Font Grasse
31703 Blagnac Cedex
31703 Blagnac Cedex (FR)

   


(54) DISPOSITIF DE MAINTIEN ELECTROSTATIQUE A PLUSIEURS SOURCES D'ALIMENTATION