(19)
(11) EP 1 825 523 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
29.08.2007  Patentblatt  2007/35

(21) Anmeldenummer: 05797116.0

(22) Anmeldetag:  20.10.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/18(2006.01)
 H01L 21/208(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/055420
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/063893 (22.06.2006 Gazette  2006/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 15.12.2004 DE 102004060737

(71) Anmelder: Degussa GmbH
40474 Düsseldorf (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHORMANN, Andreas
    63755 Alzenau (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITENDEN ODER PHOTOVOLTAISCH AKTIVEN FILMEN