(19)

(11)

EP 1 829 099 A1

(12)

(43) Date de publication: 05.09.2007  Bulletin  2007/36 (21) Numéro de dépôt: 05823924.5 (22) Date de dépôt:  21.12.2005

(51) Int. Cl.:  H01L 21/762(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2005/057003 (87) Numéro de publication internationale: WO 2006/069945 (06.07.2006 Gazette  2006/27)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorité: 24.12.2004 FR 0413930 24.12.2004 FR 0413922 (71) Demandeur: S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies 38190 Bernin (FR)	(72) Inventeurs: MALEVILLE, Christophe F-38660 La Terrasse (FR) DELPRAT, Daniel F-38920 Crolles (FR) DELATTRE, Cécile F-38660 St Hilaire Du Touvet (FR) METRAL, Frédéric F-38660 St Hilaire Du Touvet (FR) (74) Mandataire: Bomer, Françoise Marie et al Cabinet Régimbeau Espace Performance Bâtiment K 35769 Saint-Gregoire-Cedex 35769 Saint-Gregoire-Cedex (FR)