| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE
SI SK TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL BA HR MK YU |
| (30) |
Priorität: |
20.12.2004 DE 102004061255
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| (71) |
Anmelder: ATOTECH Deutschland GmbH |
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10553 Berlin (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- VOGEL, Roland
12247 Berlin (DE)
- SONNTAG, Birgit
10555 Berlin (DE)
- HEYDECKE, Jens
13158 Berlin (DE)
- GEISLER, Jens
14052 Berlin (DE)
- HABIG, Ellen
10553 Berlin (DE)
- NOACK, Andreas
13581 Berlin (DE)
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| (74) |
Vertreter: Beckmann, Claus et al |
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Kraus & Weisert
Patent- und Rechtsanwälte
Thomas-Wimmer-Ring 15
80539 München
80539 München (DE) |
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