(19)
(11) EP 1 831 662 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
12.09.2007  Patentblatt  2007/37

(21) Anmeldenummer: 05813635.9

(22) Anmeldetag:  04.11.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01L 9/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/055755
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/066997 (29.06.2006 Gazette  2006/26)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 22.12.2004 DE 102004061796

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • BENZEL, Hubert
    72124 Pliezhausen (DE)
  • FINKBEINER, Stefan
    72810 Gomaringen (DE)
  • FISCHER, Frank
    72810 Gomaringen (DE)
  • BAUMANN, Helmut
    72810 Gomaringen (DE)
  • METZGER, Lars
    72116 Moessingen-Belsen (DE)
  • SCHEUERER, Roland
    72768 Reutlingen (DE)
  • BRAUCHLE, Peter
    72147 Nehren (DE)
  • FEUSTEL, Andreas
    72770 Reutlingen (DE)
  • NEUBAUER, Matthias
    72827 Wannweil (DE)

   


(54) MIKROMECHANISCHES KAPAZITIVES SENSORELEMENT