| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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CH DE FR GB IT LI |
| (30) |
Priorität: |
22.12.2004 DE 102004063058
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| (43) |
Veröffentlichungstag der Anmeldung: |
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19.09.2007 Patentblatt 2007/38 |
| (73) |
Patentinhaber: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH |
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50968 Köln (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- ZÖLLIG, Uwe
50829 Köln (DE)
- STAHLSCHMIDT, Olaf
50827 Köln (DE)
- BEYER, Christian
50765 Köln (DE)
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| (74) |
Vertreter: von Kreisler Selting Werner |
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Deichmannhaus am Dom
Bahnhofsvorplatz 1 50667 Köln 50667 Köln (DE) |
| (56) |
Entgegenhaltungen: :
WO-A-2004/036047 US-A1- 2003 203 109
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DE-A1- 19 522 554 US-B1- 6 189 176
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- PATENT ABSTRACTS OF JAPAN Bd. 1995, Nr. 03, 28. April 1995 (1995-04-28) & JP 06 342785
A (FUJITSU LTD), 13. Dezember 1994 (1994-12-13)
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