(19)

(11)

EP 1 834 010 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 19.09.2007  Patentblatt  2007/38 (21) Anmeldenummer: 05817506.8 (22) Anmeldetag:  06.12.2005

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 24/04(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2005/056521 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2006/061384 (15.06.2006 Gazette  2006/24)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 08.12.2004 DE 102004059716 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: KRÜGER, Ursus 14089 Berlin (DE) ULLRICH, Raymond 14621 Schönwalde (DE)