(19)
(11) EP 1 839 093 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
03.10.2007  Patentblatt  2007/40

(21) Anmeldenummer: 06705766.1

(22) Anmeldetag:  11.01.2006
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G03F 7/20(2006.01)
C03C 17/25(2006.01)
 G02B 5/20(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2006/000027
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/074642 (20.07.2006 Gazette  2006/29)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 11.01.2005 DE 102005001232

(71) Anmelder: Technische Universität Dresden
01069 Dresden (DE)

(72) Erfinder:
  • GUTMANN, Emanuel
    01099 Dresden (DE)
  • LEVIN, Alexander A.
    01069 Dresden (DE)
  • MEYER, Dirk C.
    01157 Dresden (DE)
  • PAUFLER, Peter
    01157 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Lippert, Stachow & Partner 
Patentanwälte Krenkelstrasse 3
01309 Dresden
01309 Dresden (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES BAUTEILS MIT NANOMETER-MULTISCHICHTEN FÜR OPTISCHE ANWENDUNGEN SOWIE NACH DIESEM VERFAHREN HERGESTELLTES BAUTEIL