(19)

(11)

EP 1 839 331 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 24.08.2006 (43) Veröffentlichungstag: 03.10.2007  Patentblatt  2007/40 (21) Anmeldenummer: 06722452.7 (22) Anmeldetag:  09.01.2006

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/66(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2006/000017 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2006/072238 (13.07.2006 Gazette  2006/28)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 08.01.2005 DE 102005001104 (71) Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries AG 99097 Erfurt (DE)	(72) Erfinder: KNECHTEL, Roy 98716 Geraberg (DE) (74) Vertreter: Leonhard, Frank Reimund et al Leonhard - Olgemöller - Fricke, Postfach 10 09 62 80083 München 80083 München (DE)