(19)

(11)

EP 1 839 332 A2

(12)

(88) Date de publication A3: 08.02.2007 (43) Date de publication: 03.10.2007  Bulletin  2007/40 (21) Numéro de dépôt: 06703581.6 (22) Date de dépôt:  17.01.2006

(51) Int. Cl.:  H01L 21/762(2006.01) H01L 21/324(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2006/050261 (87) Numéro de publication internationale: WO 2006/077216 (27.07.2006 Gazette  2006/30)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorité: 19.01.2005 FR 0500524 02.06.2005 US 145482 (71) Demandeur: S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies 38190 Bernin (FR)	(72) Inventeur: DAVAL, Nicolas F-38000 Grenoble (FR) (74) Mandataire: Le Forestier, Eric et al Cabinet Régimbeau 20, rue de Chazelles 75847 Paris cedex 17 75847 Paris cedex 17 (FR)