(19)
(11) EP 1 842 098 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
10.10.2007  Patentblatt  2007/41

(21) Anmeldenummer: 06703614.5

(22) Anmeldetag:  26.01.2006
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G03F 1/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2006/000660
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/079529 (03.08.2006 Gazette  2006/31)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
FR

(30) Priorität: 28.01.2005 DE 102005004070

(71) Anmelder: Qimonda AG
81739 München (DE)

(72) Erfinder:
  • CRELL, Christian
    01097 Dresden (DE)
  • NOELSCHER, Christoph
    90419 Nürnberg (DE)
  • VERBEEK, Martin
    81825 München (DE)

(74) Vertreter: Beck, Josef 
Patentanwaltskanzlei Wilhelm & Beck Prinzenstrasse 13
80639 München
80639 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM ENTFERNEN VON DEFEKTMATERIAL EINER LITHOGRAPHIEMASKE