............FR..................................................................*XDIM360 (Ver 1.5 21 Nov 2005) - 1100000/0 1710000/01842098A120071010EP06703614.52006012620060829dedede10200500407020050128DE2007101020074120071010200741G03F 1/00 20060101AFI20060807BHEP deVERFAHREN ZUM ENTFERNEN VON DEFEKTMATERIAL EINER LITHOGRAPHIEMASKEenMETHOD FOR REMOVING DEFECTIVE MATERIAL FROM A LITHOGRAPHY MASKfrPROCEDE D'ELIMINATION D'UNE MATIERE RESIDUELLE SUR UN MASQUE DE LITHOGRAPHIEQimonda AG07416720INF 3189-PC/EPGustav-Heinemann-Ring 21281739 MünchenDECRELL, ChristianLoessnitzerstr. 1301097 DresdenDENOELSCHER, ChristophWielandstrasse 690419 NürnbergDEVERBEEK, MartinSpieljochstr. 881825 MünchenDEBeck, Josef00084321Patentanwaltskanzlei Wilhelm & Beck Prinzenstrasse 1380639 MünchenDEFREP200600066020060126deWO200607952920060803200631