(19)

(11)

EP 1 842 230 A1

(12)

(43) Date de publication: 10.10.2007  Bulletin  2007/41 (21) Numéro de dépôt: 06709451.6 (22) Date de dépôt:  27.01.2006

(51) Int. Cl.:  H01L 21/316(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2006/050067 (87) Numéro de publication internationale: WO 2006/079758 (03.08.2006 Gazette  2006/31)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorité: 28.01.2005 FR 0550253 (71) Demandeur: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE 75794 Paris Cedex 16 (FR)	(72) Inventeurs: NTSOENZOK, Esidor F-45160 Olivet (FR) ASSAF, Hanan F-45071 Orleans (FR) RUAULT, Marie-odile F-91940 Saint Jean de Beauregard (FR) (74) Mandataire: de Beaumont, Michel  Cabinet Beaumont 1, rue Champollion 38000 Grenoble 38000 Grenoble (FR)