(19)

(11)

EP 1 842 245 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 04.01.2007 (43) Veröffentlichungstag: 10.10.2007  Patentblatt  2007/41 (21) Anmeldenummer: 06706353.7 (22) Anmeldetag:  23.01.2006

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 35/34(2006.01) G01K 7/02(2006.01) H01L 35/32(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2006/000548 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2006/079488 (03.08.2006 Gazette  2006/31)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 26.01.2005 DE 102005003723 (71) Anmelder: HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBH D-63450 Hanau (DE) Vereta GmbH 37574 Einbeck (DE)	(72) Erfinder: WIENAND, Karlheinz 63741 Aschaffenburg (DE) ASMUS, Tim 63505 Langenselbold (DE) RENGSHAUSEN, Detlef 37586 Dassel (DE) (74) Vertreter: Kühn, Hans-Christian  Heraeus Holding GmbH, Patentabteilung, Heraeusstrasse 12-14 63450 Hanau 63450 Hanau (DE)