VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG INTEGRIERTER SCHALTKREISE MIT SILIZIUM- GERMANIUM-HETEROBIPOLARTRANSISTOREN - Patent 1844493

(19)

(11)

EP 1 844 493 A1

(12)

(43)	Veröffentlichungstag:
	17.10.2007 Patentblatt 2007/42

(21)	Anmeldenummer: 06704267.1

(22)	Anmeldetag: 27.01.2006

(51)

Internationale Patentklassifikation (IPC):

H01L 21/331^(2006.01)

H01L 29/737^(2006.01)

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/EP2006/000711

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 2006/081987 (10.08.2006 Gazette 2006/32)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	DE FR

(30)

Priorität:

02.02.2005 DE 102005004707

(71)	Anmelder: ATMEL Germany GmbH
	74072 Heilbronn (DE)

(72)	Erfinder:
	BRANDL, Peter A-9612 St. Georgen i.G. (AT)

(74)	Vertreter: Müller, Wolf-Christian et al
	Koch Müller Patentanwalts GmbH Maaßstrasse 32/1 69123 Heidelberg 69123 Heidelberg (DE)

(54)	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG INTEGRIERTER SCHALTKREISE MIT SILIZIUM- GERMANIUM-HETEROBIPOLARTRANSISTOREN