PROCEDE DE MESURE DE VOLUME PAR PROFILOMETRIE OPTIQUE DE SURFACE DANS UN DISPOSITIF MICROMECANIQUE ET ENSEMBLE DESTINE A UNE TELLE MESURE - Patent 1846735

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EP 1 846 735 A1

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(43)	Date de publication:
	24.10.2007 Bulletin 2007/43

(21)	Numéro de dépôt: 06709429.2

(22)	Date de dépôt: 24.01.2006

(51)

Int. Cl.:

G01F 22/00^(2006.01)

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR2006/050045

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 2006/079739 (03.08.2006 Gazette 2006/31)

(84)	Etats contractants désignés:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

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Priorité:

25.01.2005 FR 0500748

(71)	Demandeur: DEBIOTECH S.A.
	1004 Lausanne (CH)

(72)	Inventeur:
	CHAPPEL, Eric F-74160 Saint Julien En Genevois (FR)

(74)	Mandataire: Cardy, Sophie Marie et al
	Cabinet Beau de Loménie 158, rue de l'Université 75340 Paris Cedex 07 75340 Paris Cedex 07 (FR)

(54)	PROCEDE DE MESURE DE VOLUME PAR PROFILOMETRIE OPTIQUE DE SURFACE DANS UN DISPOSITIF MICROMECANIQUE ET ENSEMBLE DESTINE A UNE TELLE MESURE