(19)
(11)
EP 1 846 944 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
24.10.2007
Patentblatt 2007/43
(21)
Anmeldenummer:
05706745.6
(22)
Anmeldetag:
07.02.2005
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
H01L
21/00
(2006.01)
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2005/000205
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/084421
(
17.08.2006
Gazette 2006/33)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR
(71)
Anmelder:
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)
(72)
Erfinder:
DREXLER, Johann
92421 Schwandorf (DE)
HARTINGER, Peter
92439 Bodenwöhr (DE)
(54)
ELEKTROMAGNETISCHES SCHALTGER[T, INSBESONDERE SCH]TZ