(19)

(11)

EP 1 848 973 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 31.10.2007  Patentblatt  2007/44 (21) Anmeldenummer: 06706942.7 (22) Anmeldetag:  14.02.2006

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01L 9/08(2006.01) G01L 1/16(2006.01) G01P 15/09(2006.01) H01L 41/113(2006.01) G01L 9/00(2006.01) G01L 19/04(2006.01) G01P 1/00(2006.01) G01D 3/036(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2006/001336 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2006/084767 (17.08.2006 Gazette  2006/33)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 14.02.2005 DE 102005006666 (71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 80686 München (DE)

(72) Erfinder: BRUNNER, Bernhard 97209 Veitshöchheim (DE) SPORN, Dieter 31789 Hameln (DE) DOMANN, Gerhard 97204 Höchberg (DE) SPIES, Peter 91074 Herzogenaurach (DE) FÖRSTER, Frank 91052 Erlangen (DE) GUTIERREZ BORONAT, Javier 91054 Erlangen (DE) HOUBERTZ-KRAUSS, Ruth 97440 Werneck (DE) (74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner GbR  Patent- und Rechtsanwälte Theresienhöhe 13 80339 München 80339 München (DE)