(19)
(11) EP 1 851 356 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
07.11.2007  Patentblatt  2007/45

(21) Anmeldenummer: 05819256.8

(22) Anmeldetag:  07.12.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/34(2006.01)
H01J 37/34(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/013084
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/063721 (22.06.2006 Gazette  2006/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
BE CZ DE FR LU NL

(30) Priorität: 14.12.2004 DE 102004060423

(71) Anmelder: W.C. Heraeus GmbH
63450 Hanau (DE)

(72) Erfinder:
  • SIMONS, Christoph
    63599 Biebergemünd (DE)
  • SCHLOTT, Martin
    63075 Offenbach (DE)
  • SCHULTHEIS, Markus
    36103 Flieden (DE)
  • WEIGERT, Martin
    63457 Hanau (DE)
  • GUSSECK, Lars
    61130 Nidderau (DE)

(74) Vertreter: Kühn, Hans-Christian 
Heraeus Holding GmbH, Stabsstelle Schutzrechte, Heraeusstrasse 12-14
63450 Hanau
63450 Hanau (DE)

   


(54) ROHRTARGET MIT ZWISCHEN TARGETROHR UND TRÄGERROHR ANGEORDNETER VERBINDUNGSSCHICHT